國內(nèi)十大晶圓廠設(shè)備招標(biāo)結(jié)果解析：上海QY球友会設(shè)備國產(chǎn)化率最高！

5月12日消息，據(jù)招標(biāo)平臺信息顯示，5月10日，上海QY球友会半導(dǎo)體多項設(shè)備中標(biāo)結(jié)果公布。

結(jié)果顯示，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微、阿斯麥（ASML）等成功中標(biāo)上海QY球友会特色工藝生產(chǎn)線項目33臺設(shè)備。

其中，北方華創(chuàng)中標(biāo)10臺設(shè)備，包括合金化工藝低壓立式爐管、緩沖層氧化膜爐管、鋁刻蝕機(jī)、鋁金屬物理氣相沉積機(jī)、鋁銅金屬濺射設(shè)備等；拓荊科技中標(biāo)3臺二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備、8臺二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備；芯源微中標(biāo)1臺聚合物涂膠顯影機(jī)；阿斯麥（ASML）中標(biāo)2臺i-line光刻機(jī)、1臺KrF光刻機(jī)。

以此計算，北方華創(chuàng)、拓荊科技、芯源微三家合計中標(biāo)量占比約67%，國產(chǎn)設(shè)備比重較大。

那么，從今年1-4月國內(nèi)主要晶圓廠對于半導(dǎo)體設(shè)備采購的中標(biāo)情況來看，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的占比又有多高呢？

國內(nèi)十大晶圓廠今年1-4月設(shè)備采購累計開標(biāo)401臺

由于半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用的工藝流程和重要性的不同，QY球友会主要統(tǒng)計光刻、刻蝕、沉積、清洗等涉及核心工藝的關(guān)鍵設(shè)備中標(biāo)情況，并將關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備區(qū)分為制程核心設(shè)備（包含光刻、刻蝕、沉積、離子注入設(shè)備）、良率提升設(shè)備（包括前道檢測設(shè)備、后道測試設(shè)備、清洗設(shè)備）以及重要輔助設(shè)備（包括爐管設(shè)備、CMP 拋光設(shè)備、干法去膠設(shè)備、涂膠顯影設(shè)備），并排除二手翻新設(shè)備影響。

順利獲得對長江存儲、華力集成、華力微電子、福建晉華、華虹無錫、合肥晶合、上海QY球友会、中車時代、中芯紹興、武漢新芯 10 家中國大陸主要的 IDM 或晶圓代工企業(yè)為統(tǒng)計樣本，順利獲得中國國際招標(biāo)網(wǎng)對上述晶圓廠中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2022 年 4 月國內(nèi) 10 家主流晶圓廠共開標(biāo) 108臺工藝設(shè)備，前四個月合計開標(biāo) 401 臺工藝設(shè)備。

2022 年 4 月開標(biāo)的 108 臺設(shè)備主要來自上海QY球友会（78 臺）、華虹無錫（20 臺）、福建晉華（5 臺）、時代電氣（3 臺）、華力微電子（1 臺）、華力集成（1 臺），上海QY球友会及華虹無錫擴(kuò)產(chǎn)貢獻(xiàn)主要增量。

2022 年 1- 4 月開標(biāo)的 401 臺設(shè)備主要來自華虹無錫（268 臺）、上海QY球友会（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺），華虹無錫及上海QY球友会貢獻(xiàn)主要增量。

1-4月采購設(shè)備以爐管、刻蝕、沉積設(shè)備為主

晶圓廠設(shè)備布局往往以光刻機(jī)為核心，圍繞以多臺刻蝕、薄膜沉積、清洗等設(shè)備，由于不同招標(biāo)批次對應(yīng)設(shè)備采購種類不同，因此不同時期工藝設(shè)備招標(biāo)種類也會有所不同。

2022 年 4 月開標(biāo)的 108 臺設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（30 臺）、刻蝕設(shè)備（29 臺）、前道檢測設(shè)備（10 臺）、清洗設(shè)備（10 臺）、干法去膠設(shè)備（9 臺）、沉積設(shè)備（8 臺）、離子注入機(jī)（4 臺）、涂膠顯影設(shè)備（4臺）、后道測試設(shè)備（2 臺）、光刻機(jī)（1 臺）、拋光設(shè)備（1 臺）。爐管、刻蝕設(shè)備貢獻(xiàn) 2022 年 4 月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。

2022 年 1-4 月開標(biāo)的 401 臺設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（112臺）、刻蝕設(shè)備（61 臺）、沉積設(shè)備（61 臺）、前道檢測設(shè)備（48 臺）、后道測試設(shè)備（35 臺）、離子注入機(jī)（18 臺）、清洗設(shè)備（17 臺）、拋光設(shè)備（15 臺）、涂膠顯影設(shè)備（14 臺）、干法去膠設(shè)備（14 臺）、光刻機(jī)（6 臺）。總的來看，爐管、刻蝕、沉積設(shè)備貢獻(xiàn) 2022 年 1-4 月主要擴(kuò)產(chǎn)增量。

1-4月設(shè)備采購中標(biāo)國產(chǎn)率24.2%

QY球友会以設(shè)備中標(biāo)臺數(shù)計算國產(chǎn)率（包含擁有翻新業(yè)務(wù)的廠家），由于不同設(shè)備價值量不同，因此與實際市場規(guī)模測算的國產(chǎn)率有一定差異。且考慮不同晶圓廠、不同工藝設(shè)備的招標(biāo)批次不同，中國大陸廠家中標(biāo)頻次分布未必平均，造成國產(chǎn)率有一定波動。

從年度數(shù)據(jù)來看，2021年設(shè)備國產(chǎn)率達(dá) 27.4%，較 2020 年 16.8%有明顯提升。2022 年 4 月主流晶圓廠開標(biāo)的 108 臺設(shè)備中，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計 67 臺，占比達(dá) 62%；2022 年 1-4 月開標(biāo)的 401 臺設(shè)備中，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計 97 臺，占比達(dá) 24.2%。雖然較2021年有所降低，但這可能是由于國內(nèi)廠商采購節(jié)奏有關(guān)，預(yù)計全年的設(shè)備國產(chǎn)率仍將有望超過2021年。

上海QY球友会1-4 月設(shè)備采購中標(biāo)國產(chǎn)率達(dá)42.3%

2022 年 1-4 月開標(biāo)的 401 臺設(shè)備主要來自華虹無錫（268 臺）、上海QY球友会（104 臺）、時代電氣（14 臺）、福建晉華（12 臺）、華力集成（2 臺）、華力微電子（1 臺）。國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)較多的晶圓廠為上海QY球友会（44 臺）、華虹無錫（40 臺）、時代電氣（8 臺）、福建晉華（5 臺）。其中上海QY球友会國產(chǎn)率達(dá)42.3%%，華虹無錫開標(biāo)設(shè)備中國外設(shè)備占比相對較高，國產(chǎn)率約為 14.9%。

回顧2020及2021年度各晶圓廠設(shè)備采購中標(biāo)國產(chǎn)率，上海QY球友会的設(shè)備采購國產(chǎn)化率也是位居第一，分別達(dá)到了75.9%和35.4%。如果將上海QY球友会2020年、2021年、2022年1-4月及截至現(xiàn)在的5月（67%）的設(shè)備采購國產(chǎn)化率占比平均來看，其設(shè)備采購國產(chǎn)化率仍高達(dá)55%以上。

1-4月干法去膠、刻蝕、清洗、離子注入設(shè)備采購中標(biāo)國產(chǎn)率較高

近年來受益于北方華創(chuàng)、中微公司、盛美半導(dǎo)體、芯源微、屹唐半導(dǎo)體、至純科技、華海清科等中國大陸廠家的不斷開展，在刻蝕、沉積、清洗、拋光、干法去膠、爐管、涂膠顯影等領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備中標(biāo)國產(chǎn)率較高。

2022年1-4月，按照國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)數(shù)量從高到低排序，不同工藝設(shè)備國內(nèi)廠家中標(biāo)情況如下：刻蝕設(shè)備（31 臺）、爐管設(shè)備（22 臺）、干法去膠設(shè)備（10 臺）、清洗設(shè)備（7 臺）、離子注入機(jī)（7 臺）、沉積設(shè)備（6 臺）、后道測試設(shè)備（4 臺）、前道檢測設(shè)備（3 臺）、涂膠顯影設(shè)備（3 臺）。

其中國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國產(chǎn)率 71%）、刻蝕設(shè)備（50.8%）、清洗設(shè)備（41.2%）、離子注入機(jī)（38.9%）、拋光設(shè)備（26.7%）、涂膠顯影設(shè)備（21.4%）。

回顧2020及2021年度各類設(shè)備采購中標(biāo)國產(chǎn)率情況，干法去膠（47.4%和45.0%）、CMP拋光（36.4%和41.7%）、清洗（32.0%和34.7%）、刻蝕（32.5%和24.4%）、爐管設(shè)備（22.7%和23.9%）的國產(chǎn)率相對較高。

北方華創(chuàng)等國產(chǎn)設(shè)備廠商受益

按設(shè)國產(chǎn)備廠商中標(biāo)情況來看，2022 年 4 月份中標(biāo)較多的中國大陸廠家為北方華創(chuàng)、中微公司、芯源微、屹唐、上海精測、盛美上海等（暫時不分析含有翻新業(yè)務(wù)的中國大陸廠家）。

北方華創(chuàng)合計中標(biāo) 33 臺：中標(biāo)上海QY球友会 33 臺設(shè)備，其中爐管設(shè)備 21臺，刻蝕設(shè)備 12 臺。

中微公司合計中標(biāo) 13 臺：中標(biāo)華虹無錫 12 臺刻蝕設(shè)備，中標(biāo)時代電氣1 臺刻蝕設(shè)備。

屹唐半導(dǎo)體合計中標(biāo) 10 臺：中標(biāo)華虹無錫 8 臺設(shè)備，其中 7 臺干法去膠機(jī)，1 臺熱退火設(shè)備，中標(biāo)上海QY球友会 2 臺灰化機(jī)。

芯源微合計中標(biāo) 7 臺：中標(biāo)上海QY球友会 6 臺設(shè)備，其中刷片機(jī) 5 臺，涂膠顯影機(jī) 1 臺，中標(biāo)福建晉華 1 臺涂膠顯影機(jī)。

上海精測合計中標(biāo) 1 臺：中標(biāo)福建晉華 1 臺電子顯微鏡。

盛美上海合計中標(biāo) 1 臺：中標(biāo)福建晉華 1 臺濕法清洗設(shè)備。

另外，根據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)，今年1-3月國產(chǎn)設(shè)備廠商中標(biāo)結(jié)果顯示：北方華創(chuàng)13臺，包括薄膜/干法刻蝕/爐管；盛美上海9臺，包括濕薄膜/濕法/后道封裝；拓荊科技3臺，均為薄膜設(shè)備；華海清科3臺，均為CMP設(shè)備；芯源微2臺，均為涂膠顯影設(shè)備；上海微電子2臺，為爐管設(shè)備；至純1臺，為濕法清洗設(shè)備；中科信1臺，為離子注入設(shè)備；吉姆西（二手設(shè)備廠商）3臺，為CMP及檢測/量測設(shè)備。

來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)、德邦研究所、民生證券 芯智訊

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