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    特色工藝

SIC
碳化硅器件(Silicon Carbide)

碳化硅材料具有高導(dǎo)熱的材料特性,可在高溫環(huán)境下正常運作。碳化硅功率器件具有耐高壓、高頻操作的優(yōu)勢。碳化硅器件可改善系統(tǒng)效率、可靠性,提升系統(tǒng)功率密度,小型化電力電子系統(tǒng)。在高可靠性要求的工業(yè)應(yīng)用、高效電力系統(tǒng)、伺服電源及電力汽車等領(lǐng)域,碳化硅材料比其他新興材料更具明顯優(yōu)勢并被廣泛應(yīng)用。

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PE
Inverter

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Motor Contorl

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Smart Power Grid

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Ship &
Vessels

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Windmills

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UPS

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xEV

碳化硅器件特點
  • 碳化硅肖特基二極管具有高耐壓、高導(dǎo)熱材料特性,具有優(yōu)異的反向恢復(fù)能力,可改善功率損失,提升系統(tǒng)的效率。

  • 碳化硅MOSFET具有高速開關(guān)、低導(dǎo)通電阻等特性,在電力電子高頻應(yīng)用中,可以減少導(dǎo)通切換的功率損失,提升整體系統(tǒng)效率


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SiC 平臺工藝能力

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    高溫離子注入

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    金屬沉積

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    高溫退火

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    激光退火

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    深溝槽SiC刻蝕

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    SiC柵氧

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    SiC晶圓減薄

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    自對準短溝道工藝

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    高溝道遷移率工藝

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    零缺陷篩選工藝

Roadmap

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